학습목표

반도체 공정, 반도체 장비, 반도체 플랜트에 사용되는 유틸리티, 가스, 케미컬, 플랜트 레이아웃, 설비 배관의 종류와 소재를 학습하여 하이테크 플랜트 산업에서의 공사 수행을 위한 실무 인력을 양성할 수 있다. 

교육대상

하이테크 플랜트 설계, 배관 실무자 등

강 사

최재성 부장 [ 前) SK하이닉스 ],

박승호 부장 [ 前) 대림엔지니어링 ]

정 원

20명

시 간

3일(총 21시간, 1일 7시간)

교 육 비

전액 정부 지원(교육비 및 교재 등)

*대규모기업의 경우 교육 교육비의 20%(51,000원) 자부담

과목명

상세 교육내용

반도체 제조공정

ㅇ 반도체 제조 공정 개발

- 웨이퍼 기판의 종류 및 특성 이해

- MOSFET 구조 및 제작공정 이해

ㅇ 공정흐름도 파악

- 반도체 소자 공정흐름도에 필요한 단위 공정 이해 등

ㅇ 메탈 배선 적충 구조 해석

- 메탈 배선의 적층 공정 이해 등

반도체 제조장비

ㅇ 공정별 공정 장비 특성

ㅇ 공정별 공정 장비 구동원리

ㅇ 장비와 연결된 설비시설 확인

반도체 플랜트 가스 및 케미컬 중앙공급 시스템

ㅇ 가스 취급 이해

- 가스 취급 및 저장 방법

- 가스 누설 검지 방법 등

ㅇ 케미컬 취급 이해

- 화학약품 종류 및 분류

- CCSS 계통도 등

- MSDS 이해

반도체 FAB 유틸리티 시스템

ㅇ 반도체 생산 장비의 유틸리티 공급 조건

- 온도, 압력, 전원, 공급량, 배기량 등 공급 조건 등

ㅇ UPW, PCW 시스템

- UPW 공급원에 사용되는 재료 및 규격 등

ㅇ 공조 및 냉동 기술

- 공조 및 냉동기술의 메커니즘과 구성 원리 등

반도체 플랜트 레이아웃

ㅇ 반도체 FAB 레이아웃

- 공조 장비 기본 원리 및 구조 등

ㅇ 청정도 이해

- 청정도 개념, 청정도 등급 등

ㅇ 청정 시스템 이해

- 청정 시스템의 운전 방식 등

반도체 플랜트 배관의 종류와 소재

ㅇ 반도체 플랜트 배관의 종류

- 반도체 산업 플랜트 배관의 특성 등

ㅇ 반도체 플랜트 배관의 소재

- 반도체 산업 플랜트 배관의 규격

- 반도체 산업 플랜트 배관 소재 등